“老萬，你怎麽看？”許振鳴卻沒直接迴答郝寧教授，反而站起身來問萬寧古。
萬寧古此時正用一塊碎布擦著手上的汙漬，臉上的露出猶豫不決的表情。
他有點相信梁宋鬆的判斷，認為沒有必要再做兩遍激光光路係統的測試。但這種連續做三遍激光能量測試的計劃是原先預定好的，現在立即推翻的確有些過分。
更何況郝寧教授是團隊裏精通光學的專家，製定的計劃肯定科學。他們這些外行人怎麽能隨便瞎指揮。
想到這裏，他朝許振鳴苦笑道：“許董，我認為郝寧教授是專業人士，製定的計劃應該非常專業，咱們還是按照預定好的計劃來執行。”
“好！我跟你的意見一致，專業的事情應該交給專業的人去處理。”許振鳴笑道，順手接過萬古寧遞來的碎布團。他一錘定音，解決了郝寧團隊和梁宋鬆的意見分歧。
事實上，按照許振鳴的想法，他本來不便參與這種高精技術項目的決策。但郝寧教授現在要做的是重複兩次測試，頂多浪費一些時間和鈔票。許振鳴承受的起，一鳴集團也不缺這點資源。
更何況，郝寧教授應該不會無的放矢，有自己專業技術方麵的考慮才是。
一念至此，許振鳴朝郝寧教授一揮手，“郝教授，你們團隊的測試流程都要按照預定好計劃來執行，不要怕花錢，我們集團公司做項目是不怕花錢的。”
“好的許董。”郝寧教授微笑著點點頭，開始忙碌起來。
而作為項目小組的負責人，梁宋鬆此時有點尷尬，心裏更是很難受，“這幫土包子不聽老人言，吃虧就在眼前呐。”
梁宋鬆沒說話，站在那裏一會兒看看郝寧教授團隊的操作情況，一會兒又看看萬寧古這幫人的測試流程。
這時。
萬寧古的團隊成員們已經把光刻機主機係統接上各種測試儀器，要立即再次檢測這台主機係統的重複精度、運動精度、震動量數據、功率輸出數據、運行過程中的功率變化數據、電磁雜波數據等等。
這套實驗測試流程，也是剛才再三討論過的檢測技術方案。主要目的還是要看一看這台國產光刻機主機係統的各項數據，跟以前的測試報告有沒有發生變化。
倘若沒有發生變化，那就有點麻煩嘍！
作為一鳴集團公司的重點項目，這台國產光刻機的主機係統總裝調試完成以後，其實已經測試過很多次。倘若數據不過關，項目負責人胡明鎮是不會立即做光刻機總調試驗的。
但今天上午的光刻試驗中出現光刻質量缺陷，這台設備若沒出現問題，邏輯上怎麽也解釋不清楚。
帶著這種疑問，萬寧古陪著許振鳴來到光刻機主機係統檢測調試工作站的旁邊，兩眼一直盯著工作站的監視器屏幕。
時間不久，他擔心的事情出現了……
當這台光刻機主機係統完成一次模擬光刻執行程序以後，監視器顯示的各項數據都很正常，精度誤差都在許可的範圍之內。
“報告許董，主機係統重複精度小於0.001毫米，數據正常。”
“報告萬總，主機係統的震動量誤差都在量級以內，不會對光刻程序造成影響。”
“報告萬總，主機係統的功率輸出一直都非常穩定，模擬光刻過程中沒有出現波動現象。”
“這台設備的電磁雜波強度都在量級要求範圍之內，沒有出現異常情況。”
“……”
技術員們非常專注，每出現一個數據就會把情況如實匯報。
通過他們一番比對下來，這台光刻機主體係統的數據和原始測試數據沒發生變化。這事有點蹊蹺了！
另一邊，郝寧教授的團隊已經完成了激光光源的能量測試流程，一切也正常。
不但如此，他們已經完成了第一遍激光光源的光譜測試，激光在空氣中的散光度誤差很小，在正常範圍之內。
由此看來，米國佬的這台激光光源係統沒有質量問題，性能非常穩定。
看到這一幕，梁宋鬆也有點傻眼了，“兩套係統單體測試都很正常，組裝總成以後出現質量缺陷。這是什麽鬼情況？”
“這…這事有點邪門啊！”萬寧古此時也有點懵，兩手一攤，看著許振鳴苦笑，並且直搖頭。
今天中午飯的時候，他得到梁宋鬆的提醒，靈感咋現，其實已經初步判斷出這台光刻機的故障所在。按照他的設想，米國產的激光光路係統肯定沒問題，國產的光刻機主體係統肯定有問題。
但現在一番檢測下來，這兩台設備的情況都很正常，問題到底在哪裏？
“兩台設備單體都正常，組裝在一起就不正常。在組裝的時候，我們做過哪些改動程序？”
這時，許振鳴慢慢的蹲下身子，目光落在光刻機主體係統的接駁機構處。他的意思很明確，就是這個接駁機構出了問題。
“想想也是，我覺得應該是兩台設備的接駁組裝機構出了故障。”郝寧教授朝許振鳴這邊看了過來，說出自己的猜想。
“不可能！我們這台光刻機的接駁機構是用集團公司最先進的加工中心製造的，加工精度能保證。”萬寧古一邊說話，一邊也跟著半蹲了下來。
這時候，梁宋鬆有點懵懵的。出於自信，他隨口就否定了萬寧古的判斷，“怎麽不可能？我們集團公司的機械製造水平要比米國佬差了兩代左右，加工精度怎麽能保障？依我看，就是這台光刻機主體係統的接駁機構有問題。”
“咱們不能隨便亂說，要用實驗數據來說話。”萬寧古不認輸，用手指摸了摸主機係統的接駁機構，感受一下接駁機構的加工麵。
這組接駁機構的加工麵非常光滑，曲線度、光滑度通過目測應該找不出故障。
所以，許振鳴根本沒準備用手指去體驗這種異型的接駁機構。他觀察了一下，然後側過臉來問萬寧古：“老萬，咱們可不可以用分開的模式來做光刻試驗？”
萬寧古聞言搖搖頭，“光刻機是精密設備，兩套係統一定要組裝在一起工作才行。否則，光刻流片的精度無法保障。”
按照他的意思，土辦法是解決不了目前的測試困境，這事有點難辦了。
萬寧古此時正用一塊碎布擦著手上的汙漬，臉上的露出猶豫不決的表情。
他有點相信梁宋鬆的判斷，認為沒有必要再做兩遍激光光路係統的測試。但這種連續做三遍激光能量測試的計劃是原先預定好的，現在立即推翻的確有些過分。
更何況郝寧教授是團隊裏精通光學的專家，製定的計劃肯定科學。他們這些外行人怎麽能隨便瞎指揮。
想到這裏，他朝許振鳴苦笑道：“許董，我認為郝寧教授是專業人士，製定的計劃應該非常專業，咱們還是按照預定好的計劃來執行。”
“好！我跟你的意見一致，專業的事情應該交給專業的人去處理。”許振鳴笑道，順手接過萬古寧遞來的碎布團。他一錘定音，解決了郝寧團隊和梁宋鬆的意見分歧。
事實上，按照許振鳴的想法，他本來不便參與這種高精技術項目的決策。但郝寧教授現在要做的是重複兩次測試，頂多浪費一些時間和鈔票。許振鳴承受的起，一鳴集團也不缺這點資源。
更何況，郝寧教授應該不會無的放矢，有自己專業技術方麵的考慮才是。
一念至此，許振鳴朝郝寧教授一揮手，“郝教授，你們團隊的測試流程都要按照預定好計劃來執行，不要怕花錢，我們集團公司做項目是不怕花錢的。”
“好的許董。”郝寧教授微笑著點點頭，開始忙碌起來。
而作為項目小組的負責人，梁宋鬆此時有點尷尬，心裏更是很難受，“這幫土包子不聽老人言，吃虧就在眼前呐。”
梁宋鬆沒說話，站在那裏一會兒看看郝寧教授團隊的操作情況，一會兒又看看萬寧古這幫人的測試流程。
這時。
萬寧古的團隊成員們已經把光刻機主機係統接上各種測試儀器，要立即再次檢測這台主機係統的重複精度、運動精度、震動量數據、功率輸出數據、運行過程中的功率變化數據、電磁雜波數據等等。
這套實驗測試流程，也是剛才再三討論過的檢測技術方案。主要目的還是要看一看這台國產光刻機主機係統的各項數據，跟以前的測試報告有沒有發生變化。
倘若沒有發生變化，那就有點麻煩嘍！
作為一鳴集團公司的重點項目，這台國產光刻機的主機係統總裝調試完成以後，其實已經測試過很多次。倘若數據不過關，項目負責人胡明鎮是不會立即做光刻機總調試驗的。
但今天上午的光刻試驗中出現光刻質量缺陷，這台設備若沒出現問題，邏輯上怎麽也解釋不清楚。
帶著這種疑問，萬寧古陪著許振鳴來到光刻機主機係統檢測調試工作站的旁邊，兩眼一直盯著工作站的監視器屏幕。
時間不久，他擔心的事情出現了……
當這台光刻機主機係統完成一次模擬光刻執行程序以後，監視器顯示的各項數據都很正常，精度誤差都在許可的範圍之內。
“報告許董，主機係統重複精度小於0.001毫米，數據正常。”
“報告萬總，主機係統的震動量誤差都在量級以內，不會對光刻程序造成影響。”
“報告萬總，主機係統的功率輸出一直都非常穩定，模擬光刻過程中沒有出現波動現象。”
“這台設備的電磁雜波強度都在量級要求範圍之內，沒有出現異常情況。”
“……”
技術員們非常專注，每出現一個數據就會把情況如實匯報。
通過他們一番比對下來，這台光刻機主體係統的數據和原始測試數據沒發生變化。這事有點蹊蹺了！
另一邊，郝寧教授的團隊已經完成了激光光源的能量測試流程，一切也正常。
不但如此，他們已經完成了第一遍激光光源的光譜測試，激光在空氣中的散光度誤差很小，在正常範圍之內。
由此看來，米國佬的這台激光光源係統沒有質量問題，性能非常穩定。
看到這一幕，梁宋鬆也有點傻眼了，“兩套係統單體測試都很正常，組裝總成以後出現質量缺陷。這是什麽鬼情況？”
“這…這事有點邪門啊！”萬寧古此時也有點懵，兩手一攤，看著許振鳴苦笑，並且直搖頭。
今天中午飯的時候，他得到梁宋鬆的提醒，靈感咋現，其實已經初步判斷出這台光刻機的故障所在。按照他的設想，米國產的激光光路係統肯定沒問題，國產的光刻機主體係統肯定有問題。
但現在一番檢測下來，這兩台設備的情況都很正常，問題到底在哪裏？
“兩台設備單體都正常，組裝在一起就不正常。在組裝的時候，我們做過哪些改動程序？”
這時，許振鳴慢慢的蹲下身子，目光落在光刻機主體係統的接駁機構處。他的意思很明確，就是這個接駁機構出了問題。
“想想也是，我覺得應該是兩台設備的接駁組裝機構出了故障。”郝寧教授朝許振鳴這邊看了過來，說出自己的猜想。
“不可能！我們這台光刻機的接駁機構是用集團公司最先進的加工中心製造的，加工精度能保證。”萬寧古一邊說話，一邊也跟著半蹲了下來。
這時候，梁宋鬆有點懵懵的。出於自信，他隨口就否定了萬寧古的判斷，“怎麽不可能？我們集團公司的機械製造水平要比米國佬差了兩代左右，加工精度怎麽能保障？依我看，就是這台光刻機主體係統的接駁機構有問題。”
“咱們不能隨便亂說，要用實驗數據來說話。”萬寧古不認輸，用手指摸了摸主機係統的接駁機構，感受一下接駁機構的加工麵。
這組接駁機構的加工麵非常光滑，曲線度、光滑度通過目測應該找不出故障。
所以，許振鳴根本沒準備用手指去體驗這種異型的接駁機構。他觀察了一下，然後側過臉來問萬寧古：“老萬，咱們可不可以用分開的模式來做光刻試驗？”
萬寧古聞言搖搖頭，“光刻機是精密設備，兩套係統一定要組裝在一起工作才行。否則，光刻流片的精度無法保障。”
按照他的意思，土辦法是解決不了目前的測試困境，這事有點難辦了。